穿过电科装备北京烁（shuò）科中科信公司制（zhì）造中心的风（fēng）淋系统，整条离子注入机研制产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后（hòu），输（shū）送至各集（jí）成电（diàn）路先（xiān）进产线，参与“中国芯”制造。

　　北京烁科（kē）中（zhōng）科信自成立之日起，就以攻（gōng）克离（lí）子注入装备关键技术瓶（píng）颈，支撑我国电子元器件（jiàn）制造工艺装备自立自强为（wéi）主责，以离子注（zhù）入机装备（bèi）研发与产业化为主业，全力保（bǎo）障我国产（chǎn）业链供应链安（ān）全与稳定，成功入选第五批国（guó）家级专（zhuān）精特新“小巨人”企业培育名（míng）单。

　　离子注入机的工作原理（lǐ）是通过电磁场（chǎng）控制（zhì）高速运动的离子，按照工艺要求以（yǐ）精准方式完成注入。概念虽仅有短（duǎn）短一句（jù）话（huà），但其（qí）难度不亚于以飞机（jī）的速度一次成功地完成（chéng）侧方位停车，因此，对（duì）离（lí）子注入机的（de）综（zōng）合性（xìng）能（néng）要（yào）求极为严格。

　　“设备研制毫无经验可（kě）循，攻关（guān）过程是一场孤军（jun1）奋战的战役（yì），纵是如此，我们（men）也要一往（wǎng）无前。”离子注入机研发团队负责人表示。

从“0”到全系列

　　2003年，一群意气风发的（de）青年（nián）变身“背包客”，坐上绿皮车远赴他乡，扎根北京，投身离子注入机事业（yè）。经历了“摸着石头过河”的艰辛，突（tū）破了艰苦（kǔ）创业的困境，取（qǔ）得技术研发的（de）成果。我国第（dì）一台国产（chǎn）中束（shù）流离（lí）子注入整机于2008年研制（zhì）成功，实（shí）现从“0”到“1”的突破（pò）。

　　团队（duì）愈战愈勇，连续突（tū）破了离子源、离子束（shù）传输与控（kòng）制等五大关键技术，攻克了离子（zǐ）注（zhù）入机的（de）技（jì）术（shù）瓶颈，完成了第三代化合物（wù）半导（dǎo）体离子注入（rù）机及大束流离子注入机研（yán）制，2021年，成功将高能离子注入机交付产线（xiàn），形成了全（quán）系列国产离子注入机产品格（gé）局（jú），实现（xiàn）国产（chǎn）离子注入装（zhuāng）备的自主创（chuàng）新发展。

从“0”到全覆盖

　　“28纳米几乎（hū）是注入工（gōng）艺中最为经（jīng）典、较为复杂的制程，也是（shì）注入工序（xù）中需求最多及生命周期最长的节（jiē）点。”

       为保障我国集成电路产线需求，北京烁科中科（kē）信（xìn）向（xiàng）28纳米工艺节点发起挑（tiāo）战（zhàn），不仅（jǐn）要突破该节（jiē）点，还要实现全系列产品工艺全覆盖。

　　“28纳米工艺对注（zhù）入角度、注入剂量精度有严格要求（qiú），注入期间，设（shè）备软硬件要（yào）紧（jǐn）密配合，需根据不（bú）同注入区（qū）域实时对注（zhù）入剂量进行调整，稍有（yǒu）偏颇，良率将达不到产线要求（qiú）。”

　　由于（yú）厂内设（shè）备无（wú）法真实模拟出产线（xiàn）注（zhù）片（piàn）环境，只（zhī）能（néng）在（zài）客户端进行测试，攻关期（qī）间，工艺工程师（shī）和设备工程师（shī）轮（lún）番24小时驻守客户端，只为将最（zuì）新测试数据及时传输，通过数据分析，对剂量（liàng）和（hé）角度（dù）进行（háng）一遍又一遍地调整（zhěng）。

　　现下，北京烁科中科信（xìn）中（zhōng）束（shù）流及大束流设备均已（yǐ）达成工艺指标，且（qiě）工艺水准经过了先（xiān）进集成电路产线验证，两种设（shè）备产线（xiàn）晶圆（yuán）制备累计超过2000万片。高能离子注入机（jī）作为刚上线不久（jiǔ）的兆伏（fú）级设备同样打通了28纳米节（jiē）点，且与同类型设备相比，能量范（fàn）围更宽、注入均一性能更好。

　　从仅有十余人（rén）的小组，到如今人才济济的庞大团队（duì），北京烁科中科信一往无（wú）前的初心从未改变，正（zhèng）通（tōng）过模（mó）组式（shì）交付方式让装备制造（zào）提速，以（yǐ）科学的科研体系使研发流程规范，通过与市场接轨提升装备品（pǐn）质，让更多（duō）电科制造的（de）离（lí）子注入（rù）机服务于（yú）“中国芯”制造，切（qiē）实保障我国集成电路制造行业在成熟和先（xiān）进制程领（lǐng）域（yù）的（de）生产安全，为（wéi）中国（guó）半导体（tǐ）产（chǎn）业高速发展赋能。